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修整组件和化学机械研磨设备

654   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:01
一种修整组件和化学机械研磨设备，所述修整组件包括：修整盘，用于修整抛光垫的抛光面，使所述抛光垫的抛光面保持粗糙度；抛光垫修整器，具有一连接面，用于吸附所述修整盘的背面；检测单元，包括：管道，部分所述管道位于所述抛光垫修整器内，贯穿所述抛光垫修整器，所述管道的第一端位于所述抛光垫修整器的连接面且端部通过一弹性密封层密封，当所述抛光垫修整器吸附于所述修整盘的背面时，所述弹性密封层与所述修整盘接触，所述管道内用于盛放耐挥发的液体；液位计，设置于所述管道上，用于检测所述管道内的液体液位。所述修整组件能够实时侦测修整盘的掉落情况。
声明：
“修整组件和化学机械研磨设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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