合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学气相沉积装置的温度控制方法

化学气相沉积装置的温度控制方法

738   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:01
本发明提供了化学气相沉积装置的温度控制方法。该方法可以准确地了解晶座的表面温度与基板的表面温度之间的差异而无需使用复杂并且昂贵的设备。该方法包括以下步骤：检测顶表面上装载有基板的晶座的旋转状态；测量所述晶座的顶表面的温度；基于检测到的旋转状态和测量出的温度来计算所述晶座的顶表面的温度分布；以及基于计算出的温度分布来控制所述晶座的顶表面的温度。
声明：
“化学气相沉积装置的温度控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：竞争型的铅离子光电化学适配体传感器的制备方法
下一个：黄芪中化学成分的分离方法及其应用

与 “化学气相沉积装置的温度控制方法” 相关技术

▪ 南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪ 上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪ 大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪ 中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪ 西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪ 转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪ 重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪ 将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪ 有色金属压延加工技术
▪ 铜冶炼渣的选矿技术和难点

相关化学分析设备推荐

微粒检测仪 多气体检测仪
多气体检测仪
土壤重金属测试仪
土壤重金属检测仪
冲击钻取土钻机 无扰动土壤原位取样钻机 土壤采样器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪有色金属压延加工技术
▪铜冶炼渣的选矿技术和难点

报名参会
更多+

第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记