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等离子体化学气相沉积设备进气机构

602   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:00
本实用新型适用于化学气相沉积技术领域，提供了一种等离子体化学气相沉积设备进气机构，包括筒体、端盖、平滑段和固定盘一，所述平滑段固定安装于端盖的侧面，平滑段侧面安装有过渡段，其与筒体同轴线布置；所述固定盘一布置于筒体的内壁，固定盘一与筒体内侧安装的固定盘二平行布置，固定盘一和固定盘二均与过渡段之间形成流道，且固定盘二上流道的直径大于固定盘一上流道的直径，以便于气体流动；本进气结构在使用时，能对进入设备的气体温度进行检测，并将气体加热到所需的温度，还能从侧面将气体均匀的向外排出，以便于化学气相沉积设备使用，从而保证其以最佳的状态运行。
声明：
“等离子体化学气相沉积设备进气机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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