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等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置

898   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:00
本实用新型公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，包括底板以及加热炉，所述加热炉的顶部插接有两组限位销，且限位销设置在加热炉得到前后两端，所述挡板两侧外壁开设有一号滑槽，并在加热炉的两侧内壁开设有二号滑槽，且限位销插接在一号滑槽和二号滑槽之间。本实用新型所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，一是通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒；二是通过在加热炉的外部设置限位销，能够对装置内的器件进行修理与检测，从而降低装置修理的难度。
声明：
“等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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