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三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统

922   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:23
本发明提供的该三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统，其中方法步骤包括：在电解液和样品表面之间施加直流偏压和交流方波信号后；检测微管尖端与样品表面接触前回路中的交流电流信号，以计算正负电荷量Q＝∫idt，其中i为第一交流电流值，t为检测周期，并进阶计算电容值其中Va为交流信号幅值，后根据推算出微管接近样品表面的接近距离d，其中r为微管尖端半径，ε0为介电常数，籍此来准确判断该微管尖端与样品表面的实际距离。
声明：
“三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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