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化学气相沉积装置维护保养方法

1099   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:05
本揭示提供化学气相沉积装置维护保养方法，其特征在于，包括步骤S10：通过气体吹扫，筛选出符合测试要求的扩散器；步骤S20：设定检测规格的预设值，通过微粒测量仪对所述扩散器进行微粒检测；步骤S30：将所述扩散器装配到化学气相沉积装置，进行试验生产；以及步骤S40：所述化学气相沉积装置进行正式生产，并持续对所述化学气相沉积装置进行微粒检测。通过检测厂商维护保养后扩散器的维护保养品质，增加化学气相沉积装置维护保养的成功率。
声明：
“化学气相沉积装置维护保养方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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