本实用新型涉及一种
电化学沉积槽药量控制装置,它包括:药液浓度分析仪,药液浓度分析仪与槽体相连接,且从槽体接收药液进行浓度分析;药水供应组件,药水供应组件包括用于检测药液量的称重传感器,还包括气动隔膜泵以输送药水;药水添加组件,药水添加组件连接在药水供应组件和槽体之间,药水添加组件包括加液桶和连接在加液桶上的进液管路和出液管路,进液管路连接气动隔膜泵,出液管路连接槽体。由于设置有药液浓度分析仪,从而可以实时从槽体中取出药液进行浓度分析,当药液浓度不够时通过药水供应组件和药水添加组件向槽体中加入药液,且药水供应组件中的称重传感器可以控制加药量。使得药液浓度控制更为实时。
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