本发明公开了一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪,包括进气及过滤组件、气体分路计量组件、光谱组件、
电化学组件、冷镜微水组件、数据处理组件和总数据输出组件,待测气体通过进气管路连接进气及过滤组件,进气及过滤组件连接气体分路计量组件,气体分路计量组件分别连接光谱组件和冷镜微水组件,光谱组件连接电化学组件,电化学组件和冷镜微水组件一起电连接于数据处理组件,数据处理组件电连接于总数据输出组件。本发明采用红外吸收光谱技术和紫外吸收光谱技术,结合电化学传感器技术,来检测SF6气体内微量的CF4气体组分含量和其余分解产物组分含量,实现对SF6气体分解产物组分精确检测的目的。
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