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化学液体供应系统、测试化学液体方法以及处理半导体晶圆的方法

1008   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:17
根据一些实施例，提供一种化学液体供应系统、测试化学液体方法以及用于处理半导体晶圆的方法。用于处理半导体晶圆的方法包含将储存化学液体的缸筒与测试管相连接。此方法亦包含将缸筒中的化学液体引导进入测试管。此外，此方法包含检测测试管中的化学液体的条件。此方法进一步包含决定是否可接受化学液体的条件。当可接受化学液体的条件时，将化学液体供应至处理半导体晶圆的处理工具处。
声明：
“化学液体供应系统、测试化学液体方法以及处理半导体晶圆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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