一种集成的传感器模块包括能够操作以将UV辐射发射到样本上的UV辐射源和包括光谱敏感的UV通道的传感器,所述光谱敏感的UV通道被设置为接收来自该样本的UV辐射。每个UV通道包括相应的感测装置和设置在该相应的感测装置的UV辐射敏感部分上方的相应的UV干涉滤波器。用于通道中的每个特定通道的相应的UV干涉滤波器具有透射特性,透射特性在光谱上响应于相应化学物质的光谱特征。
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