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衍射光学元件检测方法与系统

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:27:33
本发明公开了一种衍射光学元件检测系统及方法，包括：光源，用于发射光束；透镜，用于汇聚所述光源发射的光束并投射平行光束，在标定时直接投射到检测器上，在测定时投射到DOE上；DOE，接收、分束所述平行光束，并投射衍射光束；检测器，在标定时接收所述透镜投射的平行光束；在测定时，接收所述DOE投射的衍射光束；控制处理器，与光源及检测器连接，用于控制光源发射光束以及检测器采集光束，同时接收来自检测器采集的光束图像并对光束图像进行处理以检测DOE的性能。通过该系统和方法，可以对DOE进行性能检测，对批量DOE进行分类，从而提升光学模组的质量与产品的一致性，避免不良产品可能造成的后期危害。
声明：
“衍射光学元件检测方法与系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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