权利要求书： 1.一种扫描电镜装置，其特征在于，包括：电子枪(300)，设置在电子真空腔室内用于产生检测分析需要的电子；扫描电镜(100)，设置在所述电子枪(300)的电子出口处用于调整电子的活动轨迹；还包括样品台(200)，用于放置需要进行检测分析的晶圆；所述扫描电镜(100)包括第一目镜腔室(120)和第二目镜腔室(130)，所述第一目镜腔室(120)和所述第二目镜腔室(130)内分别设置有调节电压以使得穿过所述第一目镜腔室(120)和所述第二目镜腔室(130)的电子能够轰击到所述样品台(200)上。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜装置，其特征在于，所述扫描电镜(100)还包括测试腔室(140)和放样腔(150)，所述放样腔(150)与所述测试腔室(140)并排放置，所述放样腔(150)与所述测试腔室(140)之间设置有连接阀(160)。
3.根据权利要求2所述的扫描电镜装置，其特征在于，所述放样腔(150)远离所述测试腔室(140)的侧面上设置有连接孔和推杆(240)，所述连接孔用于供所述推杆(240)穿过，所述推杆(240)位于所述放样腔(150)内的一端与所述样品台(200)连接，使得所述样品台(200)能够在所述推杆(240)的推拉下进行移动。
4.根据权利要求3所述的扫描电镜装置，其特征在于，所述样品台(200)包括连接块(220)、放样盘(210)和弹簧片(230)，所述放样盘(210)一侧与所述连接块(220)连接，所述放样盘(210)周侧设置有与所述弹簧片(230)连接的厚度超过所述放样盘(210)的卡片(231)，所述弹簧片(230)一端与所述卡片(231)连接，另一端设置在所述连接块(220)内。
5.根据权利要求4所述的扫描电镜装置，其特征在于，所述测试腔室(140)内设置有用于连接所述样品台(200)的测试载台(141)，所述测试载台(141)包括连接台(142)和设置在所述连接台(142)侧面上的导轨(143)和连接销(144)，所述连接销(144)和所述连接块(220)上的连接孔(221)配合连接并基于所述连接销(144)的长度将所述样品台(200)设置到电子能够轰击到的位置。
6.根据权利要求4所述的扫描电镜装置，其特征在于，所述电子真空腔室(110)、所述第一目镜腔室(120)、所述第二目镜腔室(130)和所述测试腔室
声明：
“扫描电镜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：威科赛乐微电子股份有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
