权利要求书： 1.一种高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，包括发射X光射线的X光管、将所述X光管聚焦的毛细管组件，和将所述毛细管组件与所述X光管出X光口进行装配的安装支架；所述毛细管组件包括光纤管，所述光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；所述毛细导光孔包括与所述主导光孔平行的平行段，和与所述平行段连通的向所述主导光孔折弯的折弯段；所述安装支架包括安装所述毛细管组件的安装柱，和将所述安装柱与所述出X光口进行装配的调节套；所述安装柱内设置有与所述毛细管组件外形匹配的第一通孔，外侧表面上端设置有环形凸缘；所述调节套上设置有与所述出X光口配合的第一凹槽，所述第一凹槽内壁与所述出X光口存在间隙；所述第一凹槽底部设置有与所述环形凸缘配合的第二凹槽，所述第二凹槽底部设置有与所述安装柱匹配的第二通孔；所述调节套上设置有调节所述安装柱水平位移的调节件；
所述X光管下表面转动连接有至少三个围绕所述调节套均匀分布的调节杆；所述调节杆包括连接杆和调节凸轮；所述连接杆一端与所述调节凸轮固定连接，另一端与所述X光管下表面转动连接且端部设置有纵向活动槽，所述活动槽两端均与所述连接杆侧表面连通；
所述调节杆内设置有与所述活动槽连通的第三通孔；所述调节凸轮上设置有与所述第三通孔连通的第四通孔；还包括螺杆和与所述螺杆配合的螺母；所述螺杆伸入所述第三通孔和所述第四通孔内，且端部设置有与所述活动槽配合的横杆；所述调节套外侧表面设置有环形侧翼，所述侧翼上设置有与所述连接杆对应的调节孔，所述调节孔孔径小于所述调节凸轮的最小宽度，大于所述连接杆外径；所述调节件包括与所述调节凸轮配合的调节挡板，所述调节挡板位于所述调节凸轮和所述调节套之间；所述调节挡板朝向所述调节凸轮一侧表面设置有与其配合的弧形调节槽。
2.根据权利要求1所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述高性能微焦点X射线测厚仪还包括样品载料台，所述样品载料台上设置有放置样品的放置板和调节所述放置板移动的XYZ移动平台。
3.根据权利要求2所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述高性能微焦点X射线测厚仪还包括主控板、为所述X光管提供电压的高压电源和控制所述XYZ移动平台的马达驱动组件；所述高压电源和所述马达驱动组件均与所述主控板电连接并受其控制。
4.根
声明：
“高性能微焦点X射线测厚仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：深圳市善时仪器有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
