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有色金属无损检测技术理论与应用

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成品包装箱缺件检测装置及其检测方法

本发明公开了一种成品包装箱缺件的检测装置,安装在成品包装箱的输送机上,包括:至少一检测单元,所述每个检测单元包括:至少一X光源和至少一X射线探测器;至少一位置探测器,其安装在输送机的输送带两侧,用于监测包装箱进入/离开测试区,并输出信号给数据采集控制系统;一数据采集控制系统,其连接所述X射线探测器和所述位置探测器,接收所述X射线探测器和所述位置探测器的探测数据进行处理并提供控制信号。该装置为无损、快速检测装置,可在线检测成品包装箱是否缺件并可在线剔除不合格包装箱。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双机械臂数字射线检测装置及自动化检测方法

本发明涉及一种双机械臂数字射线检测装置及自动化检测方法,属于射线无损检测领域,解决了现有工件检测系统中运动机构设计复杂,控制难度大、无法实现自动化检测以及对复杂曲面工件无法实现垂直透照检测的问题。本申请提供了一种双机械臂数字射线检测装置和基于该检测装置的自动化检测方法。该装置通过在工件两侧设置两个机械臂带动射线源和探测器运动,降低了运动机构控制难度,同时能够实现对工件任意位置、任意角度、任意放大率的检测;同时基于该装置,通过编写机械臂控制程序,实现了工件的自动化检测,基于工件三维模型通过计算机图形学获取扫描路径点的方式实现了对复杂曲面垂直透照的自动化检测。该装置以及方法能够广泛应用于工件无损检测领域,降低控制难度、提高检测的自动化。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于铝合金预拉伸板残余应力水浸超声检测的试块

本发明是一种用于铝合金预拉伸板残余应力水浸超声检测的试块,属于无损检测领域,该试块的制作步骤包括切取试样、试样加工和试样安装,检测采用水浸法,通过控制水温不变能够保证应力标定和应力测量过程的温度一致,从而排除了温度差异对超声波速度的影响,消除温度误差,另外,采用自动扫查架代替手工扫查,能够保证测量过程中探头与待测材料表面的距离不变,从而排除耦合条件差异对声传播时间的影响,消除耦合误差。该方法有利于对铝合金预拉伸板近表面残余应力进行无损评价。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高精度光缆外表面检测装置及其检测方法

本发明涉及一种高精度光缆外表面检测装置及其检测方法,包括承载机架、升降立柱、检测座、压片、微波无损探伤仪、辐照灯、色差检测器及驱动电路,微波无损探伤仪、色差检测器及驱动电路均嵌于承载机架内,检测座通过升降立柱与承载机架连接,检测座内部设一个检测腔,检测腔内设至少三个压片,检测腔前半部的内侧面设微波无损探伤仪的检测头,后半部的内侧面设色差检测器的检测头及辐照灯。其检测方法包括系统预设,检测作业及应急处理及纠偏作业等三个步骤。本发明有效的提高了检测设备的集成化及模块化程度,同时提高了检测精度,另可在满足对光纤检测过程中,同步进行检测设备检修维护,从而极大的提高检测效率和稳定性的目的。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于单线圈探头检测储氢气瓶内胆的装置及检测方法

本发明公开了一种基于单线圈探头检测储氢气瓶内胆的装置及检测方法,装置包括检测组件用于对内胆的内壁进行无损检测;第一驱动组件用于驱动检测组件在内胆中前进。通过设置该检测装置,从储氢气瓶的内部对内胆进行无损检测,解决了现有技术中无法对碳纤维缠绕储氢气瓶进行检测的问题,降低了碳纤维缠绕储氢气瓶的安全风险。本发明中第二连接杆的长度大于第一连接杆,将无损检测探头设置在第二连接杆的端部,便于撑开或收拢支撑组件和线圈,利用将整个检测组件从内胆中取出或放入,检测探头不会卡在瓶口处。通过将导线在所有第二连接杆的端部固定后形成一个线圈,作为涡流无损检测探头,操作方便,检测装置结构简单,检测输出数据少,便于查看。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
半刚性基层路面病害检测与高聚物注浆快速维修技术

本发明公开了一种半刚性基层路面病害检测与高聚物注浆快速维修技术。利用落锤式弯沉仪(FWD)、探地雷达(GPR)检测评价路面性能,判断路面的病害情况,实现对半刚性基层路面病害的无损快速检测。在需要进行病害处治的路段按一定间距打注浆孔并注射高聚物材料对路面进行修复。这种维修技术施工快捷、耐久性好、针对性强、注射的高聚物材料防水性能优良,不仅可以节省大量经费和工期,避免了长期影响交通而造成的不良社会影响,而且有利于保护环境和节约资源。该发明将FWD、GPR等病害无损检测技术与高聚物注浆快速维修技术进行集成,为半刚性基层路面病害检测和养护维修提供了先进、高效、经济、实用的整套技术。

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无损检测
河南 - 郑州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于脉冲反射法的材料缺陷检测系统及其检测方法

本发明提供一种基于脉冲反射法的材料缺陷检测系统及其检测方法,属于无损检测技术领域。本发明检测系统采用逆向思路,利用定向耦合器输入端与耦合端具有一定的耦合度,输出端与耦合端具有高隔离度的传输特性,将信号源端接输出端、超声探头端接输入端、示波器端接耦合端,从而实现探头反射信号被示波器获取;并对检测信号采用小波分析方法进行分析,实现了对缺陷深度的精确判定,提升了材料无损检测能力范围、关键部位无损检测效率和准确度,为材料工艺改进提供无损检测技术保障。

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无损检测
四川 - 成都 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
碳纤维缠绕储氢气瓶内胆的检测装置及检测方法

本发明公开了一种碳纤维缠绕储氢气瓶内胆的检测装置及检测方法,该检测装置,包括:检测组件用于对内胆的内壁进行无损检测;第一驱动组件用于驱动检测组件在内胆中螺旋式前进。本发明通过设置该检测装置,从储氢气瓶的内部对内胆进行无损检测,解决了现有技术中无法对碳纤维缠绕储氢气瓶进行检测的问题,大大降低了碳纤维缠绕储氢气瓶的安全风险。通过设置主杆、第二驱动组件、第二连接环和多个支撑组件,进入或退出内胆时,通过第二驱动组件使多个支撑组件收拢;当进入内胆中进行检测时,通过第二驱动组件使多个支撑组被撑开,无损检测探头与内胆内壁接触或靠近。通过设置多个无损检测探头,大大提高检测效率。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于细胞力学检测的弹簧纳米线探测器及其检测方法

本发明公开一种用于细胞力学检测的弹簧纳米线探测器,包括一端固定于微机械操作平台上的垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧,所述垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型或钩状的悬空结构;当所述直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型时,所述直线型的纳米线末端表面设有荧光标记物。本发明通过控制纳米线弹簧的实时形变观察即可测试相关力学性质,且端部设有悬空的纳米级探头,可实现对细胞无损伤检测。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
道面自主检测机器人系统及检测方法

本发明公开了一种道面自主检测机器人系统,包括机器人本体和远程监控辅助系统,机器人本体和远程监控辅助系统之间通过无线通讯方式传输信息,机器人本体上设有控制系统、无损检测系统和操作机构,操作机构安装在机器人本体上,无损检测系统和操作机构相连,控制系统和操作机构电连接,控制系统和无损检测系统电连接;无损检测系统包括电阻率仪,操作机构包括伸缩机构,电阻率仪和所述伸缩机构相连。本发明还公开了一种道面检测方法。采用本发明的机器人系统能够实现智能化检测,由于无需人工驾驶,提高了检测安全性和检测数据的准确性;集成多种无损检测传感器于一体,可一次性实现路面及其内部状况的全面评估,检测效率大幅提升,也减少了对道路通行性的影响。

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无损检测
四川 - 成都 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于SH0波电力系统接地网导体的腐蚀检测装置及方法

基于SH0波电力系统接地网导体的腐蚀检测装置及方法,属于无损检测技术领域。脉冲函数发生仪通过激励端阻抗匹配仪后接入SH0波电磁声激励换能器激励出无频散,模态单一,方向性好,能量大的SH0波;在接地网导体长度方向中心轴线上放置SH0波电磁声激励换能器3和SH0波电磁声接收换能器4,激励频率为传感器工作能量最大的频率,利用此中心频率下的产生的SH0波对接地网导体腐蚀进行无损检测。本发明解决了接地网导体腐蚀检测不太完善以及利用兰姆波检测金属构件实施不便利,兰姆波多模态、频散、边界效应明显易发生模态转换的缺点,此无损检测方法能长距离、快速、全面、在役无损检测,并推广到窄条金属结构腐蚀的无损检测。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
铁磁材料主塑性变形定向及定量磁检测方法

本发明属于无损检测技术领域,特别涉及一种基于塑变磁各向异性现象的主塑性变形定向、定量磁检方法;本发明基于塑性变形加剧了铁磁材料内的磁各向异性物理现象;随着主塑性应变ε1的增加,铁磁材料晶粒尺寸在主变形方向增加、在主变形垂直方向减小,使得沿着主变形方向磁化时磁化区域内穿过的晶界数减小、主变形垂直方向磁化区域内穿过的晶界数增多,从而表现为沿着不同方向磁化时磁化特征参数的各向异性,且这种各向异性随着主塑变的增大而增大;本发明利用铁磁材料塑变磁各向异性现象,具有可在线、在役检测,检测装置简单,检测过程快捷等优点,可广泛应用于机械装备关键铁磁构件中塑性变形的定向、定量无损检测中。

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无损检测
宁夏 - 银川 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
轮毂式道面自主检测机器人系统及检测方法

本发明公开了一种轮毂式道面自主检测机器人系统,包括机器人本体和远程监控辅助系统,两者之间通过无线通讯方式传输信息,机器人本体上设有控制系统、无损检测系统和操作机构,操作机构安装在机器人本体上,无损检测系统和操作机构相连,控制系统和操作机构电连接,控制系统和无损检测系统电连接;无损检测系统包括电阻率仪,操作机构包括伸缩机构,电阻率仪和所述伸缩机构相连,机器人本体的底部设有独立驱动转向装置。本发明还公开了一种道面检测方法。采用本发明的机器人系统能够实现智能化检测,由于无需人工驾驶,提高了检测安全性和检测数据的准确性;集成多种无损检测传感器于一体,可一次性实现路面及其内部状况的全面评估,检测效率大幅提升,也减少了对道路通行性的影响。

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无损检测
四川 - 成都 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
履带式道面自主检测机器人系统及检测方法

本发明公开了一种履带式道面自主检测机器人系统,包括履带式机器人和远程监控辅助系统,履带式机器人和远程监控辅助系统之间通过无线通讯方式传输信息,履带式机器人上设有控制系统、无损检测系统和操作机构,操作机构安装在履带式机器人上,无损检测系统和操作机构相连,控制系统和操作机构电连接,控制系统和无损检测系统电连接;无损检测系统包括电阻率仪,操作机构包括伸缩机构,电阻率仪和所述伸缩机构相连。本发明还公开了一种道面检测方法。采用本发明的机器人系统能够实现智能化检测,由于无需人工驾驶,提高了检测安全性和检测数据的准确性;集成多种无损检测传感器于一体,可一次性实现路面及其内部状况的全面评估,检测效率大幅提升,也减少了对道路通行性的影响。

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无损检测
四川 - 成都 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
轧辊检测设备与磨床以应答方式实现自动检测装置及方法

一种涉及轧辊及大尺寸轴类零件的无损检测装置,尤指一种应用于轧辊磨床或轴类加工机床与在线无损检测设备配套的场合,使磨床与检测设备一体化的轧辊检测设备与磨床以应答方式实现自动检测装置及方法。该装置由轧辊磨床与在线无损检测设备等配套的硬件组成,该方法是通过对磨床计算机数控CNC及在线无损检测设备ET预设工作状态的确定,及在这之后两者相互间应答式的自动信息交换,为磨床建立控制检测的特殊流程,实现不需要人为介入的全自动检测等。要解决磨床对检测过程的自动控制等有关技术问题。本发明的优点是:实现以最低的设备成本与最少的附加装置,使磨床与检测设备有机结合,简化操作,提高在线设备的自动化程度与工作效率。

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无损检测
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
船舶锚链闪光焊接系统的快速检测装置及检测方法

本发明公开了一种船舶锚链闪光焊接系统的快速检测装置及检测方法,装置包括控制柜、焊接参数检测装置和无损检测装置,控制柜内设置有工控机、PLC和无损检测控制器,焊接参数检测装置与PLC信号连接并将采集的焊接参数信息传输到PLC中,无损检测装置与无损检测控制器信号连接并将探伤信息传输到无损检测控制器中,PLC和无损检测控制器与工控机信号连接,工控机根据焊接参数信息和探伤信息检测焊接异常,检测方法结合在线异常检测与无损检测。本发明无需对有所闪光焊接锚链均进行无损探伤检测,在保证质量的前提下,提高了效率;本发明通过随机抽样计算出的评价指标柔性的调整算法阈值,在不降低检测精度的前提下,缩短了检测效率。

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无损检测
江苏 - 镇江 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
磁铁旋测线圈检测方法及检测系统

本发明公开了一种磁铁旋测线圈检测方法及检测系统。本发明基于X射线源的CT扫描方法对旋测线圈进行无损检测,利用探测器进行图像记录,通过后期图像处理,并采用Matlab进行图像分析,得出旋测线圈的中平面直线与端部两个轴承中心连线之间的偏差距离,从而得到内部线圈是否发生位置偏移或整体发生形变的检测结果。

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无损检测
陕西 - 西安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用磁共振T2弛豫时间谱分析测定骨密度的设备和方法

本发明涉及一种用磁共振T2弛豫时间谱分析测定生物骨密度的设备及方法,属于磁共振技术在医学领域的应用。其特征在于通过磁共振的方法测量生物骨骼不同组分所对应的T2弛豫时间谱,确定骨骼中骨小梁间的孔隙结构信息,并通过数据处理得到骨密度等相关参数,最终应用于骨质疏松的鉴别与诊断。本发明与常规的使用X射线测量方法的设备相比,具有对生物体完全无害,设备结构简单、体积小、重量轻,测量精度高、操作简便、测量方法可重复性强等优点。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于涂层检测的巡检机器人及涂层检测方法

本发明涉及涂层检测技术领域,提供一种用于涂层检测的巡检机器人及涂层检测方法,巡检机器人包括机器人本体,以及设置于机器人本体的定位驱动装置、电化学阻抗测试仪、原位阻抗测试探头和控制单元;原位阻抗测试探头与电化学阻抗测试仪电连接,控制单元与电化学阻抗测试仪和定位驱动装置电连接;其中,控制单元用于控制定位驱动装置,以使机器人本体在待测物体表面巡检;原位阻抗测试探头适于接触待测物体的原位涂层;电化学阻抗测试仪用于测量原位阻抗测试探头与待测物体的本体,以及位于两者之间的原位涂层的老化参数。本发明能够直接反映待测物体垂直方向上的原位涂层的老化状态,测量过程无损、评价指标客观,检测灵敏度和准确性较好。

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无损检测
山东 - 青岛 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测测试点的选取方法

本发明公开了一种检测测试点的选取方法,选取方法包括以下步骤:系统获取PCB板的孔线资料;系统获取孔线资料上定位点的选取信息;系统获取选取的定位点在PCB板上至PCB板边的板边距;系统获取PCB板的尺寸资料;系统根据板边距,将尺寸资料和孔线资料整合,形成PCB板面模型,从而便于测试点的选取。选取测试点分为自动选点模式和手动人工选点模式,自动时自动搜索满足测试点最低要求面积的区域,一般为9点法;手动时进行人工判定。之后将测试点坐标输出。该方法可避免测试点与孔线重合,确保了铜厚数据的精准稳定且避免探针对线路的影响。进而准确地得到了面铜均匀性的计算数据。实现了PCB面铜在线自动无损检测。

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无损检测
广东 - 东莞 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法

本发明公开了一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,属于微电子及微电子机械制造技术领域。为了解决现有薄膜器件、微电子、微电子机械等器件制备、检测过程中需要破坏性加工、费时长、成本高等的问题,本发明提供了一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,利用老化、热循环或者机械循环前后薄膜表面由于内部缺陷出现造成的形貌变化的现象识别出缺陷的部位和尺寸。该方法具有快速、无损、实时、检测成本低的特点,将其应用于微电子、微电子机械等信息电子制造领域,可以使制造成本、测试成本大幅降低,质量得以提高,在这些领域以及类似结构的制造领域具有广阔的应用前景。

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无损检测
黑龙江 - 哈尔滨 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用超声检测多层吸波涂层的测厚装置及其测厚方法

一种用超声检测多层吸波涂层的测厚装置及其测厚方法,属于超声无损检测与评价技术领域。该装置采用包括一种带宽0~35MHz的便携式数字超声探伤仪、延迟块探头或局部水浸的超声延迟线探头、涂层声速标定试样和集成了测厚算法的计算机构成的测厚装置。该装置根据超声回波特点选择△t或fn计算涂层厚度。通过将自相关方法与声压反射系数功率谱方法相结合迭代加窗分析,选择一个准确的fn实现涂层测厚。该测厚装置及其测厚方法克服了现有超声测厚技术对探伤仪和探头频带要求高、数据截取需要人工干预以及只适用于单层涂层等局限性。所用设备体积小、重量轻,适于多种基体、多层涂层外涂层的现场测厚,具有较大的经济效益和社会效益。

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无损检测
辽宁 - 大连 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
识别车位忙闲的检测系统、检测装置及检测方法

本发明涉及车位检测领域,具体涉及一种识别车位忙闲的检测系统,包括多个检测装置、网关和服务器;该检测装置包括传感模块、蓝牙处理器和蓝牙收发器,该传感模块用于采集指示灯模块发出的灯光颜色,并将采集到的数据信息传输到蓝牙处理器中,该蓝牙处理器根据数据信息判断对应车位的忙闲状态;该网关接收范围内蓝牙收发器传输来的车位的忙闲状态。本发明涉及一种识别车位忙闲的检测装置和检测方法。本发明通过设计一种空闲车位的检测系统及其装置,在现有的停车系统上进行改造,建立空闲车位的地图模型,实现定位导航、信息推广等功能,检测装置部署方便,判断空闲车位的准确度高,成本更低,无损化,更加高效便捷。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
快速检测水果内部品质的便携式检测设备及检测方法

本发明公开了一种快速检测水果内部品质的便携式检测设备及检测方法,包括光源及检测器组件、主控电路板组件、外壳、数据线,供电模块和显示设备;主控电路板组件的蓝牙芯片与显示设备之间进行蓝牙通讯;检测方法包括以下步骤,通过便携式检测设备对水果样品进行光谱采集;对水果样品进行糖度和酸度测量;构建水果糖度的预测模型;构建水果酸度的预测模型;采集待测水果的光谱信息并代入预测模型中,得到待测水果的糖度和酸度的预测值。本发明的便携式检测设备具有体积小、可随身携带、可充电且续航能力强的优点。本检测方法相比于传统的检测水果糖酸度破坏性的有损检测方法,可以进行实时无损的检测水果的糖度和酸度两个指标;可实现对多种水果检测。

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无损检测
甘肃 - 兰州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
液态化学品检测传感器、检测装置及其检测方法

本发明涉及液态化学品检测传感器、检测装置及其检测方法;该检测传感器基底的上表面上设有微带传输线和开口谐振器,基底内部埋设有M条微流道,微流道位于微带传输线和/或开口谐振器下方,微流道的入口和出口均设在基底的上表面上;含有该检测传感器的检测装置中还含有信号处理模块、控制模块、电源模块和M个与微流道连通的储液容器;控制模块中的控制器通过信号处理模块给微带传输线发送信号并接收微带传输线的输出信号;检测方法通过电磁微波信号中的谐振信息计算出样品的复合介电常数,然后判断出样品的种类和浓度;本发明的检测传感器能实现液态化学品的无损、无接触、无添加剂和无泄漏检测,检测装置可实现现场检测,检测方法科学合理。

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无损检测
重庆 - 重庆 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于活性氧检测的荧光共振差动比率探针的合成方法及检测装置和检测方法

本发明涉及活体无损检测测量技术领域,公开了一种用于活性氧检测的荧光共振差动比率探针的合成方法及检测装置和检测方法,检测装置中,计算机与数据采集卡电连接,数据采集卡通过控制盒与近红外光激光器电连接,近红外激光器通过光纤与扩束镜光信号连接,光纤上设有准直器,数据采集卡通过CCD成像仪与采集镜头光信号连接,且CCD成像仪位于采集镜头的成像交点处,CCD成像仪通过滤光系统与采集镜头光信号连接,数据采集卡通过伺服跟踪系统与三维电动平台电连接,样品台固定在三维电动平台上,且样品台位于扩束镜和所述采集镜头的正下方。本发明为高精度、实时活性氧活体检测提供了一种可行性方案。

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无损检测
江苏 - 淮安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
航空发动机盘类零件的水浸超声相控阵检测装置及检测方法

本发明属于无损检测领域,涉及一种航空发动机盘类零件的水浸超声相控阵检测装置及检测方法。本发明水浸超声相控阵检测装置,包括一个由探伤水槽(1)、转台(2)、控制柜(3)、三维移动装置(4)、超声探伤仪、控制计算机(6)、探头夹具(7)和超声探头,其特征在于:所说的超声探伤仪是超声相控阵探伤仪(5),所说的超声探头是环阵超声相控阵探头(8)。本发明检测方法,检测的步骤如下:系统连接;获取和记录超声回波信号。本发明避免了频繁更换探头,提高了检测效率。

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无损检测
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
磁记忆检测装置和检测方法及检测信号小波变换处理方法

一种磁记忆检测装置和检测方法及检测信号小波变换处理方法,它涉及一种检测装置和检测方法及检测信号小波变换处理方法,具体涉及一种磁记忆检测装置和检测方法及检测信号小波变换处理方法。本发明为了解决现有的磁记忆检测仪中使用的信号梯度分析方法存在的降噪效果差,判断准确率低的问题。本发明包括信号接收器、数据线和检测仪,信号接收器通过数据线与检测仪连接。本发明用于对管道进行无损检测。

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无损检测
黑龙江 - 哈尔滨 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
V2G充电桩的孤岛检测系统、检测方法和混合检测系统

本发明公开V2G充电桩的孤岛检测系统,包括采样模块、算法模块、存储模块、逻辑模块和执行模块,采样模块采集并网点的网侧电压以形成电压;算法模块采用Prony算法将电压采集数据分解成孤岛保护特征分量,通过特征分量计算得到孤岛保护的判据参数;存储模块用于储存算法模块分解的特征分量和判据参数,逻辑模块用于根据判据参数判断是否发出孤岛保护执行命令;执行模块用于执行孤岛保护命令并触发保护动作。公开基于该孤岛检测系统的检测方法和包含孤岛检测系统的混合检测系统。基于Prony算法对V2G设备网侧电压分解,孤岛前后的分量特性的差异作为判断依据,具有检测盲区极小、检测灵敏度高和对电网电能质量无损害的特点。

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无损检测
江苏 - 苏州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法

本发明涉及一种MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法,其包括控制计算机及用于放置待测晶圆的晶圆平台,所述晶圆平台通过晶圆平台控制器与控制计算机相连;所述晶圆平台上放置有探针台,所述探针台通过探针台控制器与控制计算机相连;所述控制计算机还与用于获取固有频率及图像的测试模块电连接。本发明利用表面形貌图像对比和激光测振频率对比的原理,对MEMS结构的表面缺陷和内部缺陷进行静态和动态的检测,判断所制得的MEMS产品是否可以进入后续的封装流程。该检测系统及检测方案为晶圆级自动检测,且为非接触式无损检测,适用于大规模的生产线,节约人力,检测结果准确、检测效率高,能够节约MEMS产品在检测方面的成本。

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无损检测
江苏 - 无锡 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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