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有色金属分析检测技术理论与应用

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侧向层析系统及其应用

本发明公开了一种侧向层析系统。本发明所提供的侧向层析系统,包括样本垫、结合垫、反应膜、吸水垫和PVC衬板,还包括含有亲和素活化的光敏微球和检测蛋白活化的荧光微球的样本稀释液;所述结合垫涂布有生物素标记抗待测物抗体或生物素与待测物双标记载体蛋白;所述反应膜上包被有检测线和质控线;所述检测线上包被抗待测物抗体或抗载体蛋白抗体;所述质控线上包被生物素标记抗原或生物素标记抗检测蛋白抗体。本文所提供的侧向层析系统,通过独特的复合物捕获(T线)设计,成功利用光激化学发光技术,可有效降低侧向层析系统中非特异性结合对检测结果的影响,从而有效提高了检测灵敏度和特异性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
荧光氧探针及其制备方法和用途

本发明提供了一种荧光氧探针,所述荧光氧探针包括共聚有参比探针化合物的聚合物微球以及均匀分散在共聚有参比探针化合物的聚合物微球中的荧光氧探针化合物,本发明还提供了一种创造性的制备所述荧光氧探针的方法,通过将参比探针化合物与聚合单体共聚,制备分散有荧光氧探针化合物的微球,所述微球能够作为荧光氧探针使用,本发明所制备的荧光氧探针具有自参比效果,避免了传统荧光检测中更换检测设备需要对荧光探针重新校准的问题,而且,在使用时对于检测环境要求不高,能够用于含有微生物的水体等动态生物环境中溶解氧浓度的检测,检测结果相较于传统电化学检测设备的检测结果误差≤5%。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
五气朝阳草颗粒及其标煎液干粉的一板多信息薄层鉴别方法

本发明涉及一种五气朝阳草颗粒及标煎液干粉的一板多信息薄层鉴别方法。其特征在于:用简便、快捷的前处理方法得到供试品与五气朝阳草药材溶液,分别点于同一块薄层板上,展开后,在5种检视条件下检视到五气朝阳草颗粒及标煎液干粉的17种信息斑点,归属于约13种不同的化学成分。显色前的斑点、荧光斑点、无荧光斑点、硫酸乙醇溶液显色后的荧光斑点和呈色的斑点,不同的斑点代表不同的化学成分,不但发挥了信息斑点互补,而且方法之简便、成本之低、薄层板之少,检视条件之多,检测信息量之大,应是屈指可数的,其新颖性、创造性和实用性是显而易见的。目前还未查阅到有关五气朝阳草颗粒及标煎液干粉一板多信息薄层鉴别方法报道。

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化学分析
河北 - 石家庄 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
便携式多功能窨井气体报警器

本实用新型便携式多功能窨井气体报警器涉及一种气体检测仪器,尤其是适用于在窨井作业时有害气体的检测。包括壳体、电源和电路板,电源和电路板安装在壳体内,电路板上装有气体检测模块、数据处理模块和报警模块;壳体一端装有LED灯和灯罩,壳体的另一端为气体收集盖,在气体收集盖上开有小孔;所述电源为气体检测模块、数据处理模块、报警模块以及LED灯提供电能;数据处理模块分别和气体检测模块以及报警模块相连,气体检测模块把检测数据发送到数据处理模块,数据处理模块把处理信息发送到报警模块;报警模块和LED灯相连,报警模块采用声光报警模块或者语音报警模块。采用电化学检测原理,使用方便,寿命长,适合广大一线推广使用。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
紫地榆颗粒及其标煎液干粉的快速多信息薄层鉴别方法

本发明涉及一种紫地榆颗粒及标煎液干粉的快速多信息薄层鉴别方法。其特征在于:用简便、快捷的前处理方法得到供试品与紫地榆药材溶液,分别点于同一块薄层板上,展开后,在3种不同的检视条件下,检视到紫地榆颗粒及标煎液干粉的8种信息斑点,归属于约7种不同的化学成分。荧光斑点、无荧光斑点、喷雾硫酸乙醇溶液后,呈色的颜色斑点,不同的斑点代表着不同的化学成分,斑点清晰,易于质量评价,并做到了不同检视条件下的信息斑点互补,提升了质量检测指标与水准。目前还未查阅到有关紫地榆颗粒及标煎液干粉快速多信息薄层鉴别方法的报道。具新颖性、创新性和实用性。且方法简便、快捷,效率高、成本低、绿色环保。

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化学分析
河北 - 石家庄 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
阿胶药材及其水提取物的多展开剂快速薄层鉴别方法

本发明涉及一种阿胶药材及其水提取物的多展开剂快速薄层鉴别方法。其特征在于:阿胶药材及其水提取物直接鉴别其原有成分的鉴别方法。在三种展开剂中,用紫外光灯365nm配合10%硫酸乙醇溶液显色后透过灯光检视的双重条件,检视了至少5种不同的原有化学成分。方法简便、快捷,样品与对照药材,只需70%甲醇超声,滤液或上清液点样,展开,显色,检视,即可。前处理时间20分钟,处理溶剂7ml,展开时间0.5小时。其效率之高、成本之低、易于推广应用的普及性,是目前已报道方法都无法实现的。结束了阿胶薄层鉴别一直是鉴别水解后氨基酸产物的历史,使阿胶药材及其水提取物的检测指标与临床所服用化学成分一致。

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化学分析
河北 - 石家庄 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
口腔器械压力蒸汽灭菌过程挑战装置

本实用新型属于消毒灭菌效果检测技术领域,具体涉及一种口腔器械压力蒸汽灭菌过程挑战装置,包括连接丝扣,连接丝扣下部与检测腔相联,检测腔的末端装有密封塞。本实用新型所述的口腔器械压力蒸汽灭菌过程挑战装置结构稳定性强、与口腔器械匹配度高,能直接和牙科手机相连,采用牙科手机作为抗力负载,打破了传统的压力蒸汽灭菌挑战装置的检测常规,使得灭菌检测原理更加严谨,能够更有说服力的证明灭菌效果是否合格,充分检测压力蒸汽对口腔器械的灭菌效果。本实用新型不仅能对牙科手机的灭菌效果进行化学检测,还可以进行生物检测,对于医院来说,双重检测功能使用灵活性更强,实验结果准确率更高。

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化学分析
山东 - 淄博 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
气体传感元件
气体传感元件 633     
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一种气体传感元件,其包括:包含颜料的气体检测层,该气体检测层包括第一表面;以及基底材料,该基底材料设置在所述气体检测层的所述第一表面上。当还原性气体使所述气体传感元件改变颜色时,所述气体传感元件的颜色变化ΔL*为5以上。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
传感器及其灭菌套
传感器及其灭菌套 646     
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本发明公开一种传感器及其灭菌套,灭菌套包括具有容纳槽的套本体,容纳槽内设有紫外线灭菌组件,当检测探头插入容纳槽内时,紫外线灭菌组件在预设时间内相对于检测探头旋转,使紫外线灭菌组件充分照射检测探头的外周,以利用紫外线灭菌组件对检测探头进行灭菌,灭菌较充分,灭菌效果较好,且可避免化学试剂腐蚀检测探头,检测精度得到提升。因此,本发明所提供的传感器的灭菌套可同时提升灭菌效果及检测精度。

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化学分析
海南 - 海口 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
变性淀粉自动供料的真空反应系统

本实用新型公开了一种变性淀粉自动供料的真空反应系统,包括真空反应釜和控制中心,真空反应釜一端的上表面固定连接有化学试剂进口,真空反应釜靠近化学试剂进口的一端连通有真空计,真空反应釜的上下两侧分别通过管道连接有冷凝器和粉尘收集箱,冷凝器的一侧通过管道连接有真空泵。本变性淀粉自动供料的真空反应系统,通过真空计用于检测真空反应釜内的真空值变化,当达到化学反应需要的真空值时,通过控制系统开启电磁阀,保证化学反应的条件可控,同时通过电磁阀控制辅助液罐和化学试剂进口的连通与否,更易操控,安全性更高;另外在电磁阀的下端连接有流量计,保证化学反应的精确度,避免因化学试剂过多或过少造成化学反应不良。

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化学分析
江西 - 抚州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
对一氧化氮具有选择性荧光响应的基于硅纳米线的传感器

本发明属于纳米结构的荧光化学传感器领域,特别涉及对一氧化氮具有选择性荧光响应的基于硅纳米线的化学传感器及其制备方法和应用。本发明是将基于化学气相沉积法和化学刻蚀方法制备得到的硅纳米线和硅纳米线阵列进行表面处理,然后再用有机小分子物质氨基荧光素对其进行化学共价修饰,得到对一氧化氮具有选择性荧光响应的基于硅纳米线的化学传感器。本发明的对一氧化氮具有选择性荧光响应的基于硅纳米线的化学传感器可用于溶液及生物体系中一氧化氮的检测。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
耳机充电仓和蓝牙耳机
耳机充电仓和蓝牙耳机 1070     
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本实用新型提供一种耳机充电仓和蓝牙耳机,耳机充电仓包括仓体和电路板;仓体具有第一腔体和第二腔体,第一腔体敞口设置,电路板位于第二腔体内;电路板上设有处理器、充电电路和检测电路,充电电路和检测电路分别与处理器相连,充电电路具有第一电极和第二电极,第一电极和第二电极均延伸至第一腔体内,以为耳机本体充电;检测电路具有检测电极,检测电极延伸至第一腔体内;充电电路上设有检测开关,检测开关用于在第一电极和第二电极中的任一者通过导电介质与检测电极导通时,断开充电电路。本实用新型提供的耳机充电仓可检测其仓体内是否有汗液等导电介质,以避免为耳机本体充电时仓体内的充电电极发生电化学腐蚀。

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化学分析
江西 - 南昌 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
无动力管内混合装置及其操作方法以及水处理系统

本发明公开了一种无动力管内混合装置及其操作方法,其中:化学品注入单元组件可被容易地附接及拆卸,并且可不暂停供水地检查;并且化学品注入单元组件可使得在无动力管内混合装置中混合流动的材料的流速的影响最小化,通过使用采样单元组件,可测量从无动力管内混合装置排出的被混合的材料与化学品的混合比,并且通过使用可打开的清洁孔,可有效地移除沉积在无动力管内混合装置中的异物。无动力管内装置包括进口管、混合管、排出管、化学品注入单元组件和清洁盖部。作为通过使用权利要求7的无动力管内混合装置,将化学品注入到进口管道并且采样从排出管排出的流体的方法,操作无动力管内混合装置的方法包括:通过使用化学品注入单元组件,控制在无动力管内混合装置中的化学品的注入;并且通过使用采样装置组件,控制从无动力管内混合装置排出的一部分流体的采样。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
结直肠癌标志物及其应用

本发明涉及一种结直肠癌标志物及其应用,具体涉及一种结直肠癌标志物TAF1L基因的异常表达及其检测方法和应用,所述结直肠癌标志物包括TAF1L基因异常表达的核酸和/或蛋白质,并通过运用基因测序技术、芯片半定量检测技术、qPCR定量检测技术、蛋白印迹半定量检测技术、免疫组织化学染色技术、原位杂交技术和液体活检技术能够实现TAF1L基因异常、核酸或/和蛋白质表达的检测,此检测的准确性较好、特异性较强、敏感性较高。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
合成大麻抗原的合成方法及合成大麻抗原的应用

本发明涉及免疫检测技术领域,公开了一种合成大麻抗原的合成方法,通过二硫键将JWH系列物质与大分子蛋白质偶联,得到的合成大麻抗原。还公开了运用该种方法合成的合成大麻抗原应用于胶体金检测卡。本发明合成的JWH类似物巯基化后,通过二硫键与大分子蛋白质偶联;其化学键更稳定,有利于抗原的长期保存;更有利于产品的稳定性。本发明的检测抗原,其交联臂要与免疫抗原的交联臂不一样,降低了免疫检测过程中的非特异性结合。此外,具有不同交联臂的检测抗原,保障了检测抗原用于快速免疫检测。本发明没有使用格氏试剂、氢化钠,解决了使用格氏试剂、氢化钠时,操作条件苛刻,以及有一定安全隐患的技术问题。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
实验室用简易保护气体流量计

本实用新型公开了一种实验室用简易保护气体流量计,属于化学实验仪器技术领域,解决了传统实验室气体流量无法实时检测,现有仪器成本高、性价比低的问题。主要包括流量计主体,所述流量计主体底部装有密封液,所述流量计主体上方分别设有气体入气管、气体出气管,所述气体入气管与流量计主体密封设置并延伸至密封液内,所述气体出气管与流量计主体为一个整体。本实用新型产品结构设计简单,成本很低,却有效解决了传统实验室气体流量无法实时检测、现有流量计成本高的问题,可广泛应用于化学实验仪器技术领域。

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化学分析
江苏 - 扬州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新型微波反应装置
新型微波反应装置 911     
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本实用新型是一种新型微波反应装置及其应用。新型微波反应装置包括:微波炉,在微波炉中的反应容器,反应容器上部的冷却装置和插入反应容器中的温度传感器。其应用包括能催化有机或药物化学的多种反应及生物化学和分子生物学的有关反应,能大大加快化学反应速度、增加反应收率,改善反应选择性。还涉及到微波在无机化学、分析化学和材料科学以及生物医药学领域的应用。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多维度车辆信息显示系统

本发明提供了一种多维度车辆信息显示系统,包括:检测载车;扫描成像模块,设置于检测载车上,用于对通过的车辆及车辆装载的货物进行扫描成像;检测模块,设置于载车上,用于检测车辆装载的货物是否存在危险品;控制模块,分别连接至扫描成像模块与检测模块,用于根据扫描成像模块的扫描结果与检测模块的检测结果生成至少一种融合显示信息;显示模块,连接至控制模块,用于根据用户的选择指令,显示至少一种融合显示信息。本发明的技术方案可以达到在同一显示界面融合显示车辆扫描图像与放射性物质和/或危化品检测结果,方便用户根据显示位置查找放射性物质和/或危险化学物品,使显示系统更具便捷性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于主客体作用的定量物质控释系统及方法

本发明公开了一种基于主客体作用的定量物质控释系统及方法,所述控释系统包括物质储存腔室、控释单元、输运通道和物质检测单元;所述物质储存腔室包含有预存物质;所述控释单元由主客体流体和多孔膜组成且具有刺激响应阀门开关的作用;所述主客体流体可与靶分子作用调控储存物质的释放量;所述物质检测单元通过与释放的物质作用定量将靶分子识别信号转换为可直接读取信号。本发明结合主客体特异性识别的优势与多孔膜复合形成阀门机制,当靶分子与主体分子结合,改变物质通过控释单元的压强,实现物质的可控释放。该检测系统具有成本低、携带方便、操作简单、易于读取等特点,可用于不同检测场景的靶分子进行便携和定量检测,如诊所中疾病的快速诊断、家庭里的健康监测和现场的化学/生化安全监控等。除此之外,也可根据靶分子检测信息反馈系统控制物质释放,实现物质控释检测一体化。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
工业用脱硫生产设备
工业用脱硫生产设备 603     
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本实用新型为一种工业用脱硫生产设备,包括化学材料管、动力阀、压力阀、过滤器、输水管、水阀、压力传感器、温度传感器、流量计、湿度传感器、脱硫主管、喷洒头、脱硫头、细输管道、双搅拌器、储存器、上柜、下柜、PLC控制器、排水管、信息采集表、信号线,所述化学材料管与动力阀和压力阀固定连接,所述动力阀与输水管固定连接。此脱硫生产系统工作后,集成化、运行自动化程度高,PLC控制器数据处理能力强且具有良好的场地适应能力,并有效的提高检测作业的工作效率和精度,有效的避免人为失误对工业流程及周边环境造成的危害和污染,提高脱硫作业的安全性及可靠性,提高检测作业的安全性及可靠性。

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化学分析
陕西 - 西安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高效率农村污水处理循环系统

本实用新型提供了一种高效率农村污水处理循环系统,包括污水集中箱、化学添加罐和水质检测仪,所述水质检测仪设置在所述污水集中箱的内壁上,所述化学添加罐设置在所述污水集中箱的外壁上,所述污水集中箱通过第一输水管连接厌氧处理罐,且所述第一输水管上设置有离心泵,所述厌氧处理罐的另一端通过第二输水管连接好氧处理罐,所述好氧处理罐的另一端通过驱动电机连接平板膜处理罐,所述平板膜处理罐通过第三输水管连接排水孔;本实用新型该装置通过厌氧处理罐、好氧处理罐和平板膜处理罐等能有效的净化污水,节省水资源并提高水资源利用率;整个装置解决了农村的污水处理问题,能有效的防止病毒、细菌的滋生,减少疾病的发病率。

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化学分析
山东 - 济宁 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
绿僵菌和氯虫苯甲酰胺联合使用的杀虫毒力评价方法

本发明公开了一种氯虫苯甲酰胺和绿僵菌联合使用的杀虫毒力评价方法。本发明提供了一种鉴定化学药剂和菌剂联用杀虫效果的方法,包括如下步骤:1)分别检测化学药剂、菌剂和由化学药剂和菌剂组成的混剂的LC50值;2)将所述菌剂浓度单位换算为化学药剂浓度单位;3)计算化学药剂和菌剂联用的共毒系数;若所述共毒系数大于等于100,即化学药剂和菌剂联用杀虫效果大于等于单独作用效果,则为增效效果;若所述共毒系数小于100,即化学药剂和菌剂联用杀虫效果小于单独作用效果则为拮抗效果。本发明以绿僵菌菌株、氯虫苯甲酰胺和飞蝗为实验材料,用统一的单位来换算绿僵菌和氯虫苯甲酰胺的LC50,然后计算共毒系数,设定评价标准。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
气相沉积工艺的控制方法、装置、介质及电子设备

本发明实施例提供了一种气相沉积工艺的控制方法、装置、介质及电子设备,包括:当接收到气相沉积材料储量低的提示消息后,对使用气相沉积材料进行化学气相沉积工艺的次数进行计数,获得计数结果;将计数结果与预设的化学气相沉积工艺的最大次数进行对比,获得对比结果;基于对比结果实现控制气相沉积工艺。本发明实施例的技术方案能够检测化学气相沉积材料使用状况,在低材料液位警报后,对化学气相沉积工艺的次数进行计数,当到达设定最高次数后,控制停止化学气相沉积设备的使用,并发出通知对进行化学气相沉积材料进行更换,从而提高了化学气相沉积材料的使用率,节约了材料成本。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多功能的实验室用通风橱

本实用新型公开了一种多功能的实验室用通风橱,包括橱体,所述橱体正面顶部的左侧设置有PLC控制器,所述橱体正面的顶部设置有气体检测器,所述橱体正面顶部的右侧设置有报警器,所述橱体的内腔固定安装有风机,风机的进风口连通有第一管道,第一管道的另一端连通有进风斗。本实用新型设置了橱体、PLC控制器、气体检测器、报警器、进风斗、第一管道、风机、放置盒、过滤箱、第二管道、第三管道、出风斗、第一密封塞、活性炭过滤网、第二密封塞和电池箱,解决了现有的实验室用通风橱对气体的过滤效果不好,实验室内放置有各种化学药品,在发生气体泄漏时不能及时的报警,且通风橱内无法存放一些化学试剂,空间利用率不足的问题。

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化学分析
陕西 - 西安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
挥发性有机废气处理装置

本实用新型属于废气处理技术领域,尤其涉及一种挥发性有机废气处理装置,包括通过管道依次连通的引风机、粉尘过滤室、第一喷淋处理室、光化学处理室、第二喷淋处理室和浓度检测室;所述引风机设置有进气口,所述光化学处理室设置有光解区和光催化氧化区,所述第二喷淋处理室内设置有用于喷淋亚铁离子溶液的喷淋部、若干上下并排设置的过滤板以及多面球层,若干所述过滤板位于所述喷淋部的出水口的下方,所述多面球层位于所述过滤板下方,所述浓度检测室设置有排气口,所述排气口上设置有控制阀门。相比于现有技术,本实用新型可有效提高废气中有机污染物的去除效率,并且可有效减少臭氧二次污染的产生,降低废气排放对大气的污染。

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化学分析
广东 - 东莞 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
β-内酰胺化合物及其使用方法

公开了用于检测碳青霉烯酶或微生物对碳青霉烯的耐药性的β‑内酰胺化合物。所述化合物含有化学探针。通过碳青霉烯酶水解时,所述化合物经历分子内重排并释放化学探针。释放的化学探针的检出表明碳青霉烯酶的存在和微生物对碳青霉烯的耐药性的存在。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高效灌装设备
高效灌装设备 875     
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本实用新型公开了一种高效灌装设备,一种高效灌装设备,包括混匀单元、称量单元和灌装单元,所述混匀单元包括混液装置、进料管道一、进料管道二、液体输出管道一、出气口一和液位检测装置一,所述液位检测装置一设置于所述混液装置的侧壁,所述称量单元通过所述液体输出管道与所述混匀单元连接,将混匀后的物料进行定量通过液体输出管道二输入灌装单元。本实用新型的高效灌装设备,具有以下有益效果:(1)用于化学原液稀释,在化学原液稀释后,可以进行连续不间断的灌装,提高生产效率;(2)可随时更改原液与纯水的混合比例及体积,方便生产不同稀释浓度的药液;(3)设备简单,操作简单方便。

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化学分析
浙江 - 嘉兴 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
近红外光谱仪
近红外光谱仪 1002     
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本实用新型公开了一种近红外光谱仪,涉及化学测试仪器技术领域,包括底板和与所述底板相连接的面板、在所述底板和所述面板之间设有光源、检测器和样品池,所述光源、所述检测器、所述样品池分别与所述底板或所述面板固定连接,所述底板上设有减振装置,还包括用于控制所述检测器的温度的温控组件以及电源,所述电源为所述光源、所述检测器以及所述温控组件提供电能。如此设置,该近红外光谱仪具备现场检测的能力,体积较小、移动方便,减振装置能够减小仪器在移动和测试时的晃动和振动,提高了仪器的测量精度,温控组件能够将检测器的温度稳定在一定的温度范围,提高了检测器的稳定性,进而确保检测光谱的一致性。

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化学分析
江苏 - 南京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于双控制技术的曝气池

本实用新型公开了一种基于双控制技术的曝气池,包括用于承放污水的池体,还包括曝气风机、与曝气风机相连通的鼓风曝气头,曝气风机由可编程逻辑控制器控制转速,池体内设有化学传感器检测装置,化学传感器检测装置信号线连接于可编程逻辑控制器。本实用新型根据污水曝气传质因素,如温度、pH值、表面活性剂等来调整曝气风机的功率,调整到合适的流程内额湍流程度,道道气泡搅拌和机械搅拌的最佳耦合,使气泡停留时间长,充氧率最高,以最低能耗取得最佳的曝气效果,适用于污水处理。

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化学分析
辽宁 - 大连 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
晶圆转速监控装置及监控方法

本发明公开了一种晶圆转速监控装置,包括一安装于化学机械抛光平坦化机台的清洗槽内的激光传感器装置;激光传感器装置包括:激光发射器、激光检测器和测量处理系统,激光发射器和激光检测器相对设置在所述晶圆的两侧,所述激光检测器用于接收所述激光发射器发射的激光束;所述晶圆上开设有一开口槽,晶圆在转动中,当所述开口槽转至与激光发射器的激光发射口处于同一水平位置时,激光发射器发射的激光束通过该开口槽被激光检测器接收,激光检测器根据接收的激光束生成一检测信号并发送给测量处理系统,测量处理系统根据激光检测器接收激光束的时间间隔,计算得到晶圆的实时转速,本发明能够及时准确的监控到晶圆转速的异常情况。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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