RTP1200(1200度快速升温管式炉)
一、概述
该炉为对开式双层壳体结构,炉膛采用日本技术
氧化铝多晶体纤维材料,适用于快速退火处理。配有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,确保使用安全。
二、功能与原理
1. 配备空气开关和漏电保护器,当电路过流或漏电时,会自动断开电源,保障设备和操作人员的安全。
2. 该炉可通过通讯接口与电脑连接,用户可在电脑上实时监控和调整炉子的参数,包括PV和SV温度值,并保存每个时刻的温度数据。
3. 炉膛设计精细,电阻丝间距和节距按最优热工技术布置,并经过热工软件模拟温场,采用四周加热方式,保证温场均衡稳定。
4. 可选配符合UL认证的电气板,确保设备达到国际安全标准。
三、适用领域与实验
1. 本设备适用于材料科学、半导体制造、微电子加工等领域,特别适合需要快速退火和热处理的实验。
2. 适用于基片薄膜的快速热处理实验,以及高精度控温要求的材料研发与测试。
四、优点
a. 快速升温:最大升温速率可达50℃/s,提高实验效率。
b. 安全性高:配有行程开关及漏电保护,保证操作过程的安全。
c. 精准控温:可实现高精度的温度控制,支持多组PID参数及自整定功能。
d. 多功能通讯:可与电脑连接,实时监控温度变化,支持数据记录与分析。
e. 国际标准:可选配UL认证电气板,符合国际安全和质量标准。
五、结构组成
1. 炉体:采用对开式双层壳体结构,保证内部温场稳定且外部安全。
2. 炉膛:由高纯氧化铝多晶纤维材料制成,耐高温且热效应好,确保实验的精确性。
3. 加热元件:采用高效电阻丝,按最优热工技术布置,支持四周加热,实现温场均匀。
4. 控制系统:配备英国欧陆 Eurotherm 控温仪表,具备多组PID参数、快速响应及高精度控制功能。
5. 安全系统:包括空气开关、漏电保护、行程开关等,确保操作过程中的人身和设备安全。
6. 电气板:可选配符合UL认证的电气板,进一步提升设备的安全性和国际通用性。
六、详细参数
注意事项:
一、炉管内气压不可高于 0.02 MPa
二、由于气瓶内部气压较高,通入气体时气瓶上必须安装减压阀,确保安全,建议使用压力低于 0.02 MPa
三、炉体温度高于 1000 ℃ 时,炉管内不可处于真空状态,气压需和大气压相当
四、进入炉管的气体流量需小于 200 SCCM,避免冷气流对热炉管的冲击
五、进行样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需关闭,必须关注压力表,若气压大于 0.02 MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外(如炉管破裂,法兰飞出等)