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南科大突破性成果:实现大尺寸超柔性金刚石薄膜的规模化制备

2024-12-25 16:50:58 来源:南方科技大学
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简介:近期,由南方科技大学李携曦助理教授领衔的科研团队,携手北京大学东莞光电研究院的王琦研究员、香港大学的林原教授及褚智勤副教授等国内外知名学者,在金刚石薄膜材料的制备与应用领域取得了重大突破。

近期,由南方科技大学李携曦助理教授领衔的科研团队,携手北京大学东莞光电研究院的王琦研究员、香港大学的林原教授及褚智勤副教授等国内外知名学者,在刚石薄膜材料的制备与应用领域取得了重大突破。该研究团队成功研发出一种创新方法,能够高效、稳定地制备出大尺寸(直径达2英寸晶圆级)、超薄(亚微米级厚度)、超平整(表面粗糙度低于纳米级别)且具备超柔性(可轻松实现360°弯曲)的金刚石薄膜,相关研究成果已在国际顶级期刊《Nature》上发表,题为“大尺寸超平整与超柔性金刚石薄膜的可扩展制备”

南科大突破性成果:实现大尺寸超柔性金刚石薄膜的规模化制备

金刚石,以其卓越的物理和化学性质,在电子、光子等多个领域展现出巨大的应用潜力。然而,长期以来,超薄金刚石薄膜的大规模生产一直面临诸多技术难题,限制了其广泛应用。本研究团队通过创新的剥离技术,利用胶带在特定角度和膜厚度条件下进行高效剥离,成功突破了这一技术瓶颈。所制备的金刚石薄膜不仅具有超平整的表面,便于后续的微纳尺度加工,更因其超柔性特性,为弹性应变工程和变形传感等应用提供了全新的可能,这是传统金刚石薄膜所无法比拟的。

南科大突破性成果:实现大尺寸超柔性金刚石薄膜的规模化制备

研究团队还通过系统的实验和理论研究,深入探讨了剥离角度、膜厚度等参数对薄膜品质的影响,并成功在优化的操作参数范围内,稳定制备出大面积且完好的金刚石薄膜。这一技术创新不仅为金刚石薄膜的大规模生产提供了切实可行的路径,更有望推动金刚石材料在电子学、光子学等领域的商业化进程,为相关产业的创新发展注入新的活力。

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