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LTCC光纤法珀高温压力传感器

872   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:05:36
本发明为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器，主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本发明采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔，通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化，从而进行压力测量。本发明解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外，采用光纤传输可以隔绝高温，消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下，所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。
声明：
“LTCC光纤法珀高温压力传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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