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透射电镜样品的制备方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 09:05:34
本发明提供了一种透射电镜样品的制备方法，首先在芯片的正面粘贴一金属环；然后剥离所述芯片的背面至所需观测的结构层；最后切除所述金属环外围的芯片，保留了所述金属环连同所述金属环内的芯片，形成最终的透射电镜样品。此时整个金属环的内部均为薄区，进一步的，所述样品的面积已达mm2级别，实现了大面积透射电镜观测的效果，透射电镜能够对该样品进行大面积观测以寻找失效结构。
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“透射电镜样品的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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