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解胶机

957   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:05:33
本实用新型提供一种解胶机，包括箱形本体，本体前方具有开口，本体内空腔顶部中间区域设UV光源，UV光源照射方向向下；托架为抽屉形，其可从开口处伸入并水平放置于本体内空腔底部，托架中间区域具有圆形的第一镂空部；载具，载具为直径大于第一镂空部的中空柱体，其两侧的径向截面相互平行，至少其中一侧用以与UV膜的黏贴面贴合并将UV膜固定为平面；测距单元，设于本体内空腔顶部或底部的中间区域，用于测量测距单元至载具一侧UV膜之间的距离；利用了载具正反放置，其一侧的UV膜具至测距单元的距离有高度差，即可识别待解胶晶圆片是否放反，以解决因操作人员失误将待解胶的晶圆片放反，解胶流程失效导致器件损坏，生产成本增加的问题。
声明：
“解胶机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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