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电容式微机械加速度计及其制造方法

831   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:47
本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。?
声明：
“电容式微机械加速度计及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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