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集成电路封装器件的半开封方法

1069   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-19 09:00:41
本发明提供一种集成电路封装器件的半开封方法,包括:先使用激光开封机在封装器件的塑封盖上打开一窗口,再将封装器件倒置在酸开封机上,最后使用体积比为2:1的发烟硝酸和浓硫酸的混酸溶液对所述集成电路进行蚀刻和清洁。本申请通过在塑封盖上打开窗口以露出内部的集成电路,保证了塑封盖边缘的对应的集成电路的所有引脚仍然有效,本申请可以在确保引线完好的同时,高效地完成封装器件的物理分析和失效分析。进一步的,本申请通过将封装器件倒置在酸开封机上,所述混酸溶液对所述集成电路进行蚀刻和清洁时可以及时、彻底地被溶液回收口收集,避免酸性溶液残留在所述集成电路表面的情况,进一步保证了封装器件的物理分析和失效分析的高效完成。
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“集成电路封装器件的半开封方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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