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MEMS麦克风及其印刷电路板以及MEMS麦克风的测试装置

741   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:25
本申请公开了一种MEMS麦克风及其印刷电路板以及MEMS麦克风的测试装置，该印刷电路板承载用于将声音信号转换为电信号的微机电结构，并具有连通印刷电路板相对的第一表面与第二表面的多个通孔，多个通孔与微机电结构的位置对应以作为MEMS麦克风的声孔，其中，多个通孔围绕印刷电路板的预定区域排布，预定区域包括在吹气测试中用于承受气流的吹气测试区，在吹气测试中，气流与吹气测试区接触，然后向预定区域的边缘分散，进入多个声孔，从而分散减轻了微机电结构膜片上承受的压力，进而保护了膜片，降低了膜片因受到较大的气压冲击而引起功能失效问题的概率。
声明：
“MEMS麦克风及其印刷电路板以及MEMS麦克风的测试装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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失效分析
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