合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 新的芯片测试结构

新的芯片测试结构

950   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:21
本发明公开了一种晶圆可接受性测试的方法，述方法包括：在所述第一梳状金属线上施加高电压，同时在所述第二梳状金属线上施加中电压，并保持全部的所述多晶硅接地；若测得所述多晶硅的电流超出规格，则表明是所述接触孔和所述多晶硅之间存在泄漏；若测得所述多晶硅的电流未超出规格，则表明是金属线间失效或者是层间介电质孔洞失效；通过本发明的使用，可以在帮助生产线在第一时间发现层间介电质孔洞、接触孔和多晶硅之间的孔洞等工艺缺陷，及时做出调整；并且由于本发明可同时监控多个工艺问题，大大减小了测试结构面积，降低了包含测试在内的生产成本。
声明：
“新的芯片测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：碳纤维增强复合材料钻削轴向力预测的方法
下一个：双重过滤器双重完整性测试组件

与 “新的芯片测试结构” 相关技术

▪ 超重力在线分离回收热镀锌渣中金属锌技术
▪ 钢渣浸出液萃取提钒工艺
▪ 镁合金结构件精密成形
▪ 复杂低品位铜钼矿石铜钼分离关键技术及产业化
▪ 高砷难处理金矿生物氧化预处理技术
▪ 有色金属矿物富集与分离资源综合利用
▪ 特种吸附材料的开发与利用
▪ 选矿数字化采集装备和化验AI自动化装备
▪ 基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪ 对转炉渣进行脱磷的方法

相关失效分析设备推荐

多参数水质快速测定仪
土壤硬度检测仪
土壤养分肥料测试仪
土壤紧实度仪
墒情自动监测站
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪超重力在线分离回收热镀锌渣中金属锌技术
▪钢渣浸出液萃取提钒工艺
▪镁合金结构件精密成形
▪复杂低品位铜钼矿石铜钼分离关键技术及产业化
▪高砷难处理金矿生物氧化预处理技术
▪有色金属矿物富集与分离资源综合利用
▪特种吸附材料的开发与利用
▪选矿数字化采集装备和化验AI自动化装备
▪基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪对转炉渣进行脱磷的方法

报名参会
更多+

2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月19日 ~ 21日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年08月20日 ~ 22日
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
2024年09月11日 ~ 13日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:54
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:46
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
8 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
推广

热门技术
更多+

1水电站的尾水预埋件
2压力平衡机构
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记