本发明公开了一种测试RRAM器件的数据保持特性的方法,包括以下步骤:a)控制样品台的温度,将RRAM器件保持为预定的温度;b)将RRAM器件设置为高阻态或低阻态;c)向RRAM器件施加预定的测试电压,使其发生电阻态失效,以测量数据保持时间;d)重复步骤a)-c),进行多次测量;e)利用多次测量的数据保持时间,计算出RRAM器件的电阻态失效概率F(t);以及f)对电阻态失效概率F(t)进行拟合,并利用拟合得到的参数进一步计算出预期数据保持时间tE。优选地,利用电压加速和温度加速相结合预测RRAM器件的数据保持时间。该测试方法可以准确且快速地评估RRAM器件的数据保持特性。
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