本实用新型涉及一种提高测试效率的半导体器件功率循环测试电路。其包括功率循环测试电路本体;还包括若干与待测半导体器件样品适配连接的器件样品切换开关电路以及用于检测所述待测半导体器件样品测试状态的器件样品测试状态检测电路;任一器件样品测试状态检测电路检测到所适配连接的待测半导体器件样品处于失效断路状态时,测试控制电路控制与当前处于失效断路状态适配连接的器件样品切换开关电路处于闭合状态,以通过处于闭合状态的器件样品切换开关电路使得所适配连接的待测半导体器件样品在功率循环测试电路本体内处于短路状态。本实用新型能保证功率循环测试的连续性,提高测试的效率与可靠性,降低测试成本。
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