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柔性fNIRS检测器件及其制备方法

674   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:08
一种柔性fNIRS检测器件，包括第一柔性材料层和设置于第一柔性材料层上的柔性电路，第二柔性材料层包裹于柔性电路上；所述柔性电路上设有元器件，元器件通过光刻键合设置于柔性电路上；与现有技术相比，通过采用柔性材质的检测器件，可以适应即使婴幼儿头部较小的弯曲半径，轻、薄使人们在佩戴时无异物感，较低的弹性模量可以与皮肤共形贴合，最大程度地发挥光源和探测器的性能。对芯片进行减薄，可以使芯片与皮肤贴合时具有更小的间隙，同时采用光刻的方法代替传统的金丝键合，避免了金丝键合后在与皮肤的接触中容易失效的问题。
声明：
“柔性fNIRS检测器件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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