本发明涉及一种铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法,用于在CMOS器件制备工艺中检测铜连接孔刻蚀不足缺陷,包括如下步骤:以电子束扫描仪扫描多枚CMOS器件表面区域,检测出各暗电压对比度缺陷区域,同时通过失效分析分别识别各暗电压对比度缺陷的类别,建立一暗电压对比度缺陷类别与缺陷区域图像灰度特征的对应关系;以电子束扫描仪扫描待检测CMOS器件一表面区域,确定有无暗电压对比度缺陷区域,若有,则提取该缺陷区域图像灰度特征;根据对应关系进一步识别该缺陷区域是否为铜连接孔刻蚀不足缺陷;切换至另一表面区域继续扫描。该方法可快速识别出CMOS器件中可能存在的铜连接孔刻蚀不足缺陷,其识别准确率高、检测速度快。
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