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铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本发明涉及一种铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法，用于在CMOS器件制备工艺中检测铜连接孔刻蚀不足缺陷，包括如下步骤：以电子束扫描仪扫描多枚CMOS器件表面区域，检测出各暗电压对比度缺陷区域，同时通过失效分析分别识别各暗电压对比度缺陷的类别，建立一暗电压对比度缺陷类别与缺陷区域图像灰度特征的对应关系；以电子束扫描仪扫描待检测CMOS器件一表面区域，确定有无暗电压对比度缺陷区域，若有，则提取该缺陷区域图像灰度特征；根据对应关系进一步识别该缺陷区域是否为铜连接孔刻蚀不足缺陷；切换至另一表面区域继续扫描。该方法可快速识别出CMOS器件中可能存在的铜连接孔刻蚀不足缺陷，其识别准确率高、检测速度快。
声明：
“铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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