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缺陷检测方法

669   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本发明提供一种缺陷检测方法。首先提供一半导体检测件,且该半导体检测件中包括至少一缺陷,然后利用一失效分析(FA)技术,于该半导体检测件的背面检测出至少一可疑异常区域(suspected area),接着利用一物理能量,于该半导体检测件背面的该可疑异常区域周围形成多个参考标记,最后利用该些参考标记,于该半导体检测件的正面标定出该缺陷的相对位置。
声明：
“缺陷检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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