本实用新型公开了一种超高纯液化气气体痕量水分分析装置,包括气体钢瓶和水分仪,气体钢瓶与水分仪之间均通过主传输管道连接,所述主传输管道上连接有防倒流机构、抽真空机构、氮气置换机构、压力传感器、
过滤机构、泄压旁路机构和防超压机构;所述泄压旁路机构与防超压机构均与压力传感器相连,所述泄压旁路机构还接入回收装置。本方案可以在分析过程有效的避免因减压造成样气温度变化大、水分聚集,从而造成测量误差较大的问题;避免了因操作不当引入灰尘等颗粒物质或因减压过程产生液化污染水分仪的核心测量部件;避免了因减压失效造成进样压力超水分仪要求损坏水分仪。
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