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应用沟道漏电衡量器件失效的方法

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:39
本发明公开了一种应用沟道漏电衡量器件失效的方法,该方法包括步骤:测试不同偏置电压下的平均沟道漏电特性劣化率ASR,并多组采样;对于相同偏置电压下的ASR,比较分布求平均值;用幂指数模型拟合推导出工作电压下的晶体管沟道漏电劣化寿命。本发明应用沟道漏电衡量器件失效的方法,能对沟道漏电随着热载流子效应劣化作有效评价,进一步完善了低功耗器件的可靠性评价。
声明：
“应用沟道漏电衡量器件失效的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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