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蚀刻NPN掺杂区域形貌以进行失效检验的组合物及检验方法

875   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:33
本发明公开一种有效蚀刻NPN掺杂区域形貌以找出失效原因的组合物，用于在PN结剖面轮廓失效检验中进行结染色，该组合物包含：硝酸、氢氟酸、乙酸、水、五水硫酸铜；该组合物的摩尔比为：硝酸：氢氟酸：乙酸：水：五水硫酸铜=2.9712：0.1734：7：5.18：0.08。本发明组合物所采用的组份都是非常便宜的化学溶剂，降低成本；组合物制备方便，任何检验人员都可以简单的自行制备本发明组合物的化学配比，其样本准备远简单于采用电子检验方式中例如SSRM或SCM的电子设备，实现不需要物色和授权外包的供应商提供检验材料，便于进行PN结剖面轮廓失效检验，具有高成功率。
声明：
“蚀刻NPN掺杂区域形貌以进行失效检验的组合物及检验方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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