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硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法

1073   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:24
本发明公开了一种硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法，其结构包括垂直耦合光栅、硅基光波导器件、硅基光波导和石墨烯光电混频器；其中垂直耦合光栅为调制光信号输入口、光信号通过硅基光波导输入到硅基光波导器件进行处理，处理后输入到石墨烯光电混频器，石墨烯光电混频器对探测到的光信号进行光电转换，栅电极为微波本振信号输入口，微波本振信号与光电转换后的信号进行混频得到中频信号，中频信号由漏电极输出。本发明通过将石墨烯光电混频器与硅基光波导器件进行集成，可同时实现信号处理、探测和混频功能，且集成后混频效率更高；石墨烯光电混频器采用基于HSQ的钝化方法，工艺简单，一次成形，对石墨烯无损伤。
声明：
“硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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