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p型透明导电薄膜介电函数和电子关联度的获取方法

703   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:24
本发明公开了一种p型透明导电薄膜介电函数和电子关联度的获取方法，结合模拟椭偏参数和实验椭偏参数建立第一评价模型，基于联合色散模型初始化该色散模型参数和膜厚，对椭偏光谱进行评价得到联合色散模型的最佳拟合参数，进而得到初步介电函数，然后建立包含薄膜电阻率的光学计算值和电学测量值的第二评价模型，得到薄膜的最佳介电函数；最后根据所述最佳介电函数转换得到光电导率，结合等离子体频率计算薄膜样品的归一化电子关联度；本发明对薄膜材料的椭偏光谱提出了数值和物理双重评价体系，无需制备电极，依据测得的有效最佳介电函数，通过光学参量计算即可无损的获取透明导电薄膜的电子关联度。
声明：
“p型透明导电薄膜介电函数和电子关联度的获取方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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