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对位装置

941   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:22
本实用新型公开了一种对位装置，该对位装置包括底座、升降旋转装置、XY方向滑移台、以及电路板；所述升降旋转装置与所述底座相匹配，且相对于所述底座上下移动，待测晶片固定于所述升降旋转装置上；所述XY方向滑移台嵌入所述底座上，相对于所述底座沿X方向及Y方向移动；所述电路板为无色透明电路板，安装于所述XY方向滑移台的底面，所述电路板的尺寸与待测晶片的尺寸匹配，且所述电路板上制作有凸点；在使用过程中，只需将待测晶片的电极与凸点进行连接即可进行芯片测试，从而可实现无损害测试，并且可同时测量多个电极，且使用灵活方便。
声明：
“对位装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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