毛细管X光透镜共聚焦微区X射线荧光谱仪是由X光源、样品台、显微镜、探测器、X射线光源和样品台之间的整体毛细管X光会聚透镜以及样品台和探测器之间的整体毛细管X光平行束透镜组成,它可用来对样品进行三维无损微区X射线荧光分析。本实用新型的核心部件是安放在光源和样品台之间的整体毛细管X光会聚透镜和安放在样品台和探测器之间的整体毛细管X光平行束透镜。本实用新型的核心是通过对整体毛细管X光会聚透镜与整体毛细管X光平行束透镜的合理调节实现共聚焦,从而对样品进行三维无损微区X射线荧光分析。同时,本实用新型可以利用功率较低的光源进行X射线荧光分析。本实用新型结构简单,造价低廉,便于推广和普及。
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