本发明涉及一种薄膜材料热导率的测量方法。利用点状脉冲加热装置对待测样品进行加热,同时利用热成像仪对其加热区域进行温度测量,然后将其空间温度分布结果导入通用计算软件中进行非线性曲面拟合,得出一维时间空间温度分布函数u=f(x,t),其中,u是关于空间(x)和时间(t)的二元函数,℃;x为测量点距热源中心的距离,单位为mm;t为加热时间,s;最后将方程代入一维热传导方程
中进行热导率求解;其中,
k为热导率,c、ρ分别为密度和比热。本发明减少了界面热阻对测试结果精确度的影响,且对样品无损伤;温度测量结果可以直接进行非线性曲面拟合,可直接得出一维时间空间温度分布函数,对样品种类、厚度和有无衬底无特别要求。
声明:
“薄膜材料热导率的测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)