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低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法

589   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:02
本发明提出了一种低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法，该装置包括真空获得模块、采样模块、气体分析模块和控制模块。其中真空获得模块包括二级真空腔室、真空泵组和隔断阀。采样模块包括工艺腔室、连接法兰、采样细管、截止阀、微孔法兰、二级真空腔室和电离单元的微孔。气体分析模块包括总压监测器、电离单元、质量分析器和探测器等。本发明装置解决了低真空气体采样分析过程中出现的质量歧视效应，真正做到了无损采样，测试结果准确；半封闭式电离单元可保持更高压力，提高了采样量；降低了采样时二级真空腔室的本底，降低了采样带来的本底干扰和微量气体的损失，进一步提高了装置的检测下限，更能分析具有极低浓度的气体。
声明：
“低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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