本发明公开了一种热栅格扫描热成像无损检测方法,通过热像仪记录栅格热源在薄膜表面形成的稳态热波的温度信号,对薄膜内部的水平和竖直方向的裂纹进行检测;本发明的检测方法,降低了对热像仪采样频率和信号灵敏度的要求,受薄膜表面的各种缺陷干扰少,比如表面颜色、表面元素分布等,对热像仪信号的灵敏度要求低,尤其适用于对可以承受高温的薄膜。
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