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SiC雪崩光电二极管的无损缺陷检测方法及装置

662   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:52
本发明公开了一种SiC雪崩光电二极管的无损缺陷检测方法及装置，利用位错的发光规律，通过SiC雪崩光电二极管在雪崩击穿下的发光图像，辨别SiC雪崩光电二极管有源区内是否存在位错缺陷，进行高质量SiC雪崩光电二极管筛选，是一种成本低、操作简单的无损检测方法。本发明与其他位错检测方法相比，所用设备(探针台、源表、COMS相机)均为微电子器件研究的常用设备，系统搭建简单、成本低、操作简单。
声明：
“SiC雪崩光电二极管的无损缺陷检测方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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