本实用新型涉及一种辉光放电离子源装置。该装置包括电极部和绝缘部。电极部包括加载正电压的阳极和加载负电压的阴极;阳极顶部和阴极底部形成真空状态的放电间隙。阴极底部设有与放电间隙相通的阴极孔,顶部设有与阴极孔相通的试剂入口。阳极设有真空腔;阳极顶部设有与放电间隙和真空腔相通的真空差分孔,底部设有与真空腔相通的物料入口。绝缘部将阳极和阴极隔开,一端连接阳极顶部,另一端连接阴极底部。该装置安装在化学电离质谱仪前端,产生试剂离子,电离被测物质。该装置能够确保电极部实际位置关系的精度,提供一个绝缘并具有密封性能的结构,使得在施加较大电压的情况下,不至于击穿,在密闭空间中的稀薄气体可以发生辉光放电反应。
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