本发明一种内联式超薄弱光型非晶硅光电池生产线,其特征在于,上述在线生产设备概括为集成透明电极制造单元、集成非晶硅膜制造单元、集成铝背电极制造单元、切片测试单元,应用磁控溅射、化学汽相沉积、激光、电子计算机、自动控制、等离子体沉积、真空蒸镀、丝网印刷等技术即可生产内联式超薄弱光型非晶硅光电池。本发明优点是可以工业化、系列化、大批量的进行生产;生产技术先进,技术含量高;工装设备投资少、风险小;无环境污染,有利于环保。
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