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基于溅射薄膜的薄膜应变计

746   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本实用新型涉及一种基于溅射薄膜的薄膜应变计，有基底、薄膜应变计敏感栅、覆盖物保护膜及导引电信号的引出线组成。基底是一层厚度在100μm之内的聚酰亚胺薄膜，起到绝缘作用和传递应变作用；用于感知结构应变的敏感栅是一层金属薄膜镍铬合金，通过溅射薄膜制备工艺制成，可大大降低应变计的使用功耗；引出线通过焊接方式焊接在敏感栅的焊接栅处；覆盖物保护膜是一层Si3N4防护层，可以起到对敏感栅的热、腐蚀、水、电等外界条件的防护作用，防止敏感栅过早、过快氧化，防止受到外界环境的化学破坏。本实用新型能够应用于无线应变测量，具有功耗低、高分辨率、高可靠性、高测量精度等优点。
声明：
“基于溅射薄膜的薄膜应变计” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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