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基于温度补偿结构的气体传感器

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:15
本发明公开了一种基于温度补偿结构的气体传感器，主要解决现有气体传感器温度分布不均的问题，其包括硅衬底(1)、下绝缘层(2)、温度补偿结构加热电极(3)、上电极板(9)、下电极板(4)、上绝缘层(5)、覆盖层(6)、保护层(7)、测试电极(8)、测试极板(10)、加热平台(15)、悬臂(16)和气敏膜(17)，该硅衬底通过腐蚀形成空气绝热槽(11)，该覆盖层中间设有通孔阵列(12)和空气隔热层(13)，该下电极板与上电极板之间设有接触孔(14)，该温度补偿结构加热电极由自内向外厚度逐渐减小的m圈电极组成。本发明温度分布均匀、功耗低，可用于化工生产和安全家居领域中对化学气体的监测。
声明：
“基于温度补偿结构的气体传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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