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用于硼扩散工艺的石英炉门及设备

982   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:14
本实用新型公开了一种用于硼扩散工艺的石英炉门，包括石英门本体，所述石英门本体的内壁附着有一层在硼扩散高温条件下化学性能稳定、且热胀冷缩系数低于所述石英门体材料的热胀冷缩系数的保护膜；本实用新型中通过在石英门本体内壁上设置高温条件下稳定性比较强、且热胀冷缩系数小的保护膜，避免了硼玻璃与石英门本体内壁的直接接触，缓解了石英门本体内壁由于较大热胀冷缩现象产生的较大应力，对石英门的损坏，可以提高石英炉门的使用寿命，并且延长石英炉门的维护周期，降低了石英炉门的频繁检修损耗、节省人力、物力，相应提高了生产效率和太阳能电池片的生产质量，进而可以大大降低太阳能电池片生产成本。此外，本实用新型还提供了一种包括上述石英炉门的设备。
声明：
“用于硼扩散工艺的石英炉门及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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