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基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器及其制作方法

718   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:28:34
本发明公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器，包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构，所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧，水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧，电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连，另一端与后端测量电路相连；所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极，内部两列探测电极为信号采集电极，外部两列探测电极为信号输入电极，本发明所公开的电导率传感器满足微型化的要求，化学稳定性高，抗生物附着能力强，稳定工作寿命长。 1
声明：
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