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用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置

704   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:28:33
本发明公开了一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过熔融NaOH‑KOH低共融混合物对氮化铝晶体进行湿法腐蚀，装置包括用于盛放熔融NaOH‑KOH低共融混合物的坩埚、设于坩埚中的用于放置氮化铝晶体的隔网、包覆在坩埚侧向周部的隔热套、设于坩埚底部的加热机构、用于实时测量坩埚中熔融NaOH‑KOH低共融混合物温度的测温机构。本发明一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过使用金属镍材料制成的坩埚和隔网，耐腐蚀性高，基本杜绝腐蚀反应以外的其他化学反应，保证了腐蚀的质量，安全性高；通过设置测温机构，热电偶浸入熔融NaOH‑KOH低共融混合物内部，所测温度为实时温度，对腐蚀的温度参数控制准确。
声明：
“用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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