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钽阻挡层去除溶液

761   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:18
用于去除钽阻挡层材料的化学机械平坦化溶液。该溶液包含0至25重量百分比的氧化剂,0至15重量百分比的非铁金属金属抑制剂和0至20重量百分比该非铁金属的配位剂,0.01至12重量百分比选自甲脒,甲脒盐,甲脒衍生物,胍衍生物,胍盐和它们的混合物的钽去除剂,0至5重量百分比的研磨剂,0至15重量百分比选自聚合物颗粒和聚合物包覆颗粒的全部颗粒,而余量为水。该溶液具有至少3比1的氮化钽相对TEOS的选择性,如使用垂直于晶片的小于20.7kPa的微孔聚氨酯抛光垫板压力所测。
声明：
“钽阻挡层去除溶液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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