合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于碳化硅器件的自对准方法

用于碳化硅器件的自对准方法

733   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:29
本发明公开一种用于碳化硅器件的自对准方法，包括如下步骤：在晶圆上制备裸露的沟道和沟槽；在沟槽的底部和侧壁以及沟道表面沉积一层第一介质层，且第一介质层的材质中含有干法刻蚀的终点检测指示元素；在第一介质层表面沉积一层第二介质层，以覆盖沟槽的底部和侧壁以及沟道表面；在对应沟槽处的第二介质层表面覆盖光刻胶，以填充沟槽内的空隙，使得光刻胶裸露的表面与对应沟道处的第二介质层表面齐平；采用干法刻蚀去除对应沟道处的第二介质层和第一介质层，使得沟道表面裸露；在裸露的沟道表面形成一层上表面金属电极。所述自对准方法能够避免在第一介质层表面沉积厚度较大的第二介质层；不受化学机械研磨方法或干法刻蚀的专门设备的限制。
声明：
“用于碳化硅器件的自对准方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：电动汽车蓄电池散热装置
下一个：甘遂诱变的繁殖方法

与 “用于碳化硅器件的自对准方法” 相关技术

▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法
▪ 固体催化剂催化硫代硫酸盐浸金的方法
▪ 难选铜钴混合矿的选矿分离方法
▪ 连续熔渣缓冷余热回收系统及方法
▪ 金属蒸气冷凝结晶物的收集装置
▪ 工程化钠金属负极：应对钠硫电池中硫衍生物挑战
▪ 含铅工业污泥电渗透脱水减量调理电化学高级氧化法

相关化学分析设备推荐

XP-HCN美国霍尼韦尔单一检测仪 多气体检测仪
MultiPro 密闭空间多气体检测仪配碱性电池
便携式有机肥化验检测仪器
OEM-GP01高智能测土配方施肥仪
阴离子表面活性剂测定仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法
▪固体催化剂催化硫代硫酸盐浸金的方法
▪难选铜钴混合矿的选矿分离方法
▪连续熔渣缓冷余热回收系统及方法
▪金属蒸气冷凝结晶物的收集装置
▪工程化钠金属负极：应对钠硫电池中硫衍生物挑战
▪含铅工业污泥电渗透脱水减量调理电化学高级氧化法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记