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硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用

870   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:11
本发明公开了一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法，首先将硅片切割时产生的废砂浆进行回收，将聚乙二醇提取出来另用，剩余的含有碳化硅和硅粉的浆料制成滤饼，晾晒至水分小于10%后，破碎成粒度小于3mm的颗粒料，经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用；称取粘合剂和润湿剂，与颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料，入炉烘焙，待其水分小于2%时冷却出炉，得到理化指标为：TSi=30~70%，Tc=10~25%，S≤0.1%，H2O≤2%的复合硅碳球成品。本发明制造工艺简单，实现了硅片切割加工过程中产生的副产品-废砂浆中所含资源的综合利用，大大减少了环境污染，产生了较大的经济效益和社会效益。
声明：
“硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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